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日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動安裝型擺動氣缸,CDUW6-15D

  • 型   號:CDUW6-20D
  • 更新時間:2025-06-30

日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動安裝型擺動氣缸,CDUW6-15D
對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動安裝型擺動氣缸,CDUW6-15D

工作過程空壓機的低壓級吸氣閥和排氣閥裝在氣缸蓋上,升程為3mm。而高壓級的吸氣閥和排氣閥裝在氣缸中部的閥室內。氣缸及活塞均分成直徑上大下小的兩段。活塞頂部以上為氣缸的低壓級工作空間,空氣經濾清器吸入氣缸。活塞中部的環形空間為高壓級工作空間,由低壓級排出的氣體經級間冷卻器冷卻送入高壓級進一步被壓縮。為了保證安全,低壓級和高壓級分別裝有安全閥,它們的安全開啟壓力分別比額定排出壓力約高15%和10%。電動機通過彈性連軸器帶動曲軸旋轉,再經連桿,活塞銷帶動活塞在氣缸內上下往復運動。當活塞從上止點向下止點移動時,空壓機處于吸氣過程,此時進氣閥彈簧被壓縮,閥片向下運動,于是進氣閥打開,吸入氣體。活塞回行時,即從下止點向上運動時,吸氣閥開始關閉,即閥片受其彈簧彈力作用向上運動至與閥座密合位置。當吸、排氣閥均處于關閉狀態,活塞繼續向上運動時,氣體在缸內被壓縮,壓力升高到排出壓力時,排氣閥閥片向上運動壓縮彈簧而開啟,壓縮過程結束。排氣閥開啟后,缸內壓力即將保持排出壓力大小不變直到活塞行至上止點,全部氣體被排出,排氣過程結束。氣閥開啟的zui大位置受升程限制器的限制。

日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動安裝型擺動氣缸,CDUW6-15D

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